課程資訊
課程名稱
 微機電系統
MICROELECTRONIC MECHANICAL SYSTEM 
開課學期
 96-2 
授課對象
 電機資訊學院  電機工程學研究所  
授課教師
 吳清沂 
課號
 EE5154 
課程識別碼
 921 U9990 
班次
  
學分
 3 
全/半年
 半年 
必/選修
 選修 
上課時間
 星期五A,B,C(18:25~21:05) 
上課地點
  
備註
 總人數上限：30人 
  
課程簡介影片
 
核心能力關聯
 本課程尚未建立核心能力關連
課程大綱
為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
課程概述

一.Contents:
1. Overview of MEMS and Microsystems
2. Working Principles of Microsystems
3. Engineering Science for Microsystem Design and Fabrication
4. Engineering Mechanic for Microsystems Design
5. Thermofluid Engineering and Microsystem Design
6. Scaling Laws in Miniaturization
7. Materials for MEMS and Microysystems
8. Microsystem Fabrication Processes
9. Overview of Micromanufacturing
10. Microsystems Design
11. Microsystem Packaging

二.Text Book
“MEMS & Microsystems Design and Manufacture” by Tai-Ran Hsu
ISBN: 0-07-113051-9

三. 期中考: 50%
期末考與報告: 50%

 

課程目標
  
課程要求
  
預期每週課後學習時數
  
Office Hours
  
指定閱讀
  
參考書目
  
評量方式
(僅供參考)
    
課程進度
週次
日期
單元主題
無資料